S6 · الفولاذ المقاوم للصدأ فائق النقاء 316L لأشباه الموصلات
الفولاذ المقاوم للصدأ فائق النقاء 316L لأشباه الموصلات (قائمة الوسائط والحدود لـ 316L/304L)
اسرد الوسائط والدرجات وظروف الحدود المتعلقة بالفولاذ المقاوم للصدأ فائق النقاء 316L لأشباه الموصلات: 4 مكونات/ظروف نموذجية، بما في ذلك الدرجات الموصى بها والمواصفات وأسباب الفشل والمعايير.
أربعة أجزاء وقائمة المواد
| الجزء / المكون | الدرجة الموصى بها | المواصفات / السُمك | السطح | أنماط الفشل | المعايير المرجعية |
|---|---|---|---|---|---|
| خطوط نقل الغاز عالية النقاء UHP | 316L VIM-VAR | مقاومة الشد: 0.010%، الكبريت (S): ≤0.05%، الأكسجين (O): ≤0.07%، الشوائب: ≤0.5 درجة ASTM E45 A/B/C/D، البنية المجهرية: سلسلة دقيقة | التلميع الميكانيكي Ra≤0.25μm → التلميع الإلكتروليتي Ra≤0.13μm؛ الفئة العليا Ra≤0.05μm | تلوث الجسيمات/أيونات المعادن هو نمط الفشل الرئيسي؛ التآكل بين الحبيبات/المنطقة الساخنة في اللحامات ثانوي ولكن لا يجب تجاهله | SEMI F20 الدرجة 5؛ SEMI F19؛ SEMI F57 |
| أجسام صمامات الغازات الخاصة / صمامات التخفيض / صمامات الحجاب الحاجز | 316L مطروقات VIM-VAR | S≤0.005% | التلميع الإلكتروليتي Ra≤0.2μm | خالٍ من الحديد الحر | SEMI F20 4.6.2؛ ASTM A182 |
| المسافة من المقعد إلى جدار الأنبوب >1D | 316L خطوط المواد الكيميائية الإلكترونية CMP/الرطبة | بطانات EP/PFA/PTFE | Ra≤0.2μm | تآكل كاشط + أحماض قوية/مؤكسدات + احتجاز الجسيمات | SEMI F20؛ SEMI F57 |
| غرف/صمامات التفريغ | 304L/316Lالدرجة | معدل التهوية المنخفض هو الأساس، وليس الكبريت أو الأكسجين | 2B/ تلميع كهربائي/غسل حمضي | تهوية غير كافية → انخفاض التفريغ؛ تسرب أثناء اللحام | ASTM A240؛ ISO 3669 |
يتضمن الجدولالتكوين القياسي. يمكن استخدام 304 أو 316L أو 2205 للجزء نفسه حسب الوسط ودرجة الحرارة وطريقة اللحام—اشرح الظروف بشكل أفضل من تحديد الدرجات.
اعتبارات المواد
- الدرجات الأكثر شيوعًا في هذه الصناعة هي 316L (4)، 304L (1) —— الأرقام بين الأقواس تشير إلى عدد المناطق المتأثرة، مفيدة للتسعير وتحضير المواد.
- في الأوساط الحمضية، 316L مجرد نقطة بداية؛ مع زيادة التركيزات ودرجات الحرارة يُنظر في 904L / الدوبلكس (2/4 إصابات).
- نطاق السماكة: 0.005–0.01 mm —— الألواح الرقيقة تكون في الغالب أجزاء مشكّلة (يجب مراعاة ارتداد الانحناء وتشقق السحب العميق)، والألواح السميكة تكون في الغالب هياكل ملحومة (يجب مراعاة مدخلات الحرارة والحساسية).
المشكلات الشائعة
الفولاذ المقاوم للصدأ 316L فائق النقاء للصناعات الدقيقة: أي نوع من الفولاذ المقاوم للصدأ يُستخدم أكثر لمعايير SEMI F20 للكبريت/الأكسجين/الشوائب/حدود Ra؟
بناءً على إجمالي الصفحات، الدرجات الأعلى هي 316L (4) و304L (1). تحديد درجة محددة لجزء ما لا يزال يعتمد على الوسط ودرجة الحرارة؛ على سبيل المثال، أسطح العمل المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ التي تلامس المياه المالحة يجب أن تُغيَّر من 304 إلى 316L.
أي الأجزاء هي الأكثر عرضة للمشكلات؟
بناءً على أوصاف الأعطال، النموذجي هو "أنابيب نقل الغاز فائقة النقاء": تلوث الجسيمات/الأيونات المعدنية هو العطل الأساسي؛ التآكل بين الحبيبات/لحامات منطقة التأثر الحراري ثانوي ولكن لا يجب تجاهله؛ الدرجة الموصى بها 316L VIM-VAR، المواصفات S ≤0.005–0.010%؛ O≤7ppm؛ الشوائب ASTM E45 سلسلة A/B/C/D الدقيقة ≤0.5 درجة. لهذه الحالة، حدد تركيز الوسط ودرجة الحرارة وطريقة التنظيف خلال مرحلة التصميم.
أي سماكة يجب أن أختار؟
نطاق السماكة في القائمة هو 0.005–0.01 mm. بالنسبة للألواح الرقيقة، يجب مراعاة قابلية التشكيل وجودة السطح؛ وبالنسبة للألواح السميكة، قوة اللحام والسلامة الهيكلية. قد تختلف القيم حسب الشركة المصنعة للمعدات لنفس الجزء؛ راجع رسوماتك أو شروطك.
المواد ذات الصلة والصناعات المجاورة
316Lالمادة والمواصفات304Lالمادة والمواصفاتمثبتات الفولاذ المقاوم للصدأ: A2-70/A4-70/A4-80/سلسلة D وأحدث المعاييرمثبتات الفولاذ المقاوم للصدأفلنجات الفولاذ الكربوني لتحلية مياه البحر: حدود الضغط ودرجة الحرارة والتآكل لـ 2205/2507فلنجة دوبلكس وتحلية المياهصمامات الحجاب الحاجز الصحية/الصمامات النظيفة: ASME BPE وRa وحدود درجة الحرارةصمامات صحية